Geschichte des cyclo aliphatischen Epoxidharz projekts für Arf-Fotolass von Tetra-neuen Materialien

Acht jährige Bemühungen mit großem Erfolg, High-End-Materialien für Dream Pursue

Es gibt ein cyclo aliphatisches Epoxid monomer vom Typ (Methyl) Acryl mit einem Jahresumsatz von weniger als 200t. Es wurde jedoch in der Kategorie „ Engpass “-Materialien aufgeführt, die dringend in den Richtlinien für die Demonstration von Anwendungen der ersten Charge für wichtige neue Materialien (Ausgabe 2019 und Ausgabe 2021) behandelt werden müssen. Vom Ministerium für Industrie und Informations technologie, mit dem Grund, dass es eines der am häufigsten verwendeten Monomere in der globalen ArF-Fotolack-Industrie kette ist.

Fotolack, auch als lichte mpfindlicher Resist bekannt, ist ein Medium, das zur Muster übertragung durch photo chemische Reaktionen verwendet wird. Es ist eine Art von Fein chemikalien, die mit verschiedenen Sorten, divers ifi zierten Eigenschaften und breiten Anwendungen gekennzeichnet sind. Haupt sächlich in der Fein verarbeitung von integrierten Schaltungen und diskreten Halbleiter bauelementen in der Elektronik industrie verwendet, der Fotolack soll feine Muster, die von der Maske benötigt werden, auf das Substrat übertragen, um durch Belichtung und Entwicklung unter der photo chemischen Reaktion verarbeitet zu werden, und dann einen Ätz-, Diffusions-, Ionen implantation-und Metalli sierungs prozess durchlaufen. Daher ist es das wichtigste chemische Grund material in der elektronischen Industrie.

Der Fortschritt der elektronischen Industrie hängt eng mit der Entwicklung von Fotolack zusammen. Wenn keine Kernte chno logie für Halbleiter fotolack in der Hand ist, wird die Industrie für integrierte Schaltkreise in China immer noch begrenzt sein, selbst wenn ein Durchbruch in der Foto ätz maschine erzielt wird. Derzeit sind mehr als 90% Marktanteile an Halbleiter-Fotolack von Unternehmen in Japan, Korea und den Vereinigten Staaten besetzt, mit Haupt herstellern wie JSR, TOK, Fuji Electronics, shin-Etsu und Sumitomo Chemical in Japan sowie Dow Chemical in den USA. Obwohl in den letzten Jahren inländischer Fotolack entwickelt wurde, kann er nur Durchbrüche in High-End-Märkten anstreben, insbesondere auf dem Gebiet des Arf-Fotolacks. Da die meisten Kernprozesse der Rohstoff produktion von ausländischen Unternehmen beherrscht werden, erschwert diese Barriere auch inländischen Herstellern die Entwicklung von Produkten mit hohem Standard.

Ende 2015 stellte ein bekanntes ausländisches Fotolack unternehmen vor: „ Es gibt ein cyclo aliphatisches Epoxid monomer vom Acryl-Typ auf dem Markt, das einen großen Anteil an seinem Fotolack-Formel system ausmacht. aber nur ein japanisches Unternehmen kann ein solches Produkt in großen Mengen liefern. Daher können sie jederzeit dem Risiko ausgesetzt sein, keinen Vorrat mehr zu haben, und das Unternehmen hat Tetra aufgefordert, solche Produkte aufgrund der technischen Akkumulation auf dem Gebiet derCyclo aliphatische Epoxidharze.“ Angesichts dieser neuen Markt chance stellte Tetra New Materials ein spezielles Team für Fotolack-Projekte (Internal Project Code PR-001) mit dem General Manager als Teamleiter auf. der Technische Direktor als Projekt leiter. Das Projekt team bestand aus talentierten Fachleuten aus den Bereichen Prozessent wicklung, F & E-Analyse, Prozess technologie, Ingenieur technologie, Produktions entwicklung und Lieferkette, um gemeinsam Probleme bei Schlüssel technologien anzugehen.

Gruppenfoto des Projekt teams

Basierend auf dem Gesamt plan von „ zwei Jahren für die Labor produktion, zwei Jahren für die Pilot produktion und drei Jahren für die Massen produktion “, das Prozessent wicklung steam führte in über 600 Tagen mehr als 1000 Versuche im Labor durch, löste Probleme bei der Auswahl der Prozess routen, Indizes der Roh-und Hilfsstoffe und Zwischen produkte, des Katalysator-Screenings. Inhibitor-Screening, Produkt polymer isation während des Destillation prozesses, Vergilbung des Produkts, Analyse von Polymer und anderen Verunreinigungen (Schlüssel verunreinigung <0,1%; nicht nachgewiesenes Polymer ist erforderlich), übermäßiger Inhibitor, übermäßige Viskosität (≤ 15cps) und übermäßige Metallionen (der Gehalt von 12 Arten von Metallionen ≤ 50ppb) Und stellte schließlich 2017 fünf Chargen von Labor proben für Kunden zur Verfügung und bestand Anfang 2018 den Labor test des Kunden.

Prozessent wicklung steam zur Erforschung von Berichtigung parametern	F & E-Analyse team Bewertung der Produkt qualität

Nach Bestehen des Labor tests wurden die Teammitglieder sehr ermutigt und führten einen 100-kg-Pilottest für das Produkt durch. In fast zwei Jahren haben sie sich im Pilot versuch mit verschiedenen Themen befasst, azeotrope Destillation und Membran trennung stech no logien eingeführt, um verschiedene technische Indikatoren für Labortests zu erreichen, und den Pilot versuch des Kunden im Jahr 2019 reibungslos bestanden. Aufgrund der soliden Grundlage der Pilot versuchs phase werden die Produkte seit 2021 stabil in der Taixing Base in Jiangsu produziert und auch die Überprüfung der Produktions linie des Kunden bestanden. Im Jahr 2022 wurde die Test produktion solcher Produkte in der Dongying-Basis in Shandong eingeführt, und Proben werden zur Überprüfung an Kunden gesendet.

Parameter für das Debugging-Gerät des Pilot produktions personals	Technischer Ingenieur simuliert nach geschaltete Anwendungen

Die Umsetzung dieses Projekts hat nicht nur die Produkt kategorien von Tetra New Materials bereichert, sondern auch das Projekt team weiter aufgebaut und viele techno logische Errungenschaften und Know-Hows gesammelt. Wir haben sukzessive 3 Patente für Erfindung, 8 Patente für Gebrauchs muster erhalten und erfolgreich die regionalen/kommunalen Spezialfonds für die Komme rzialisierung wichtiger wissenschaft licher und techno logischer Errungenschaften beantragt.

TTA153 4 Epoxy cyclo hexyl methyl meth acrylatUnd TTA16Acryl at ester GroßhandelSind die ersten beiden von Tetra investierten Produkte auf dem Gebiet des Halbleiter-Fotolacks. Da die kritischsten Harz materialien in Fotolack normaler weise von verschiedenen Herstellern unabhängig voneinander synth etisiert werden, hängt die Kern wettbewerbs fähigkeit der Produkte in hohem Maße mit der Fülle vorgel agerter Rohstoffe und dem Niveau der Synthese technologie zusammen. Daher ist die Suche nach den vorgel agerten Rohstoffen der erste Schritt, um die Material blockade ausländischer Hersteller zu überwinden. Im Vergleich zu ähnlichen Sorten haben TTA15 und TTA16 nicht nur eine deutlich verbesserte thermische Alterung beständigkeit, sondern bieten auch eine hervorragende Reaktivität. die die wichtige Ergänzung der Schlüssel eigenschaften von synthetischen Materialien sind und auch die Lücke in der Lokal isierung solcher Rohstoffe füllen.

Tetra New Materials setzt sich stets für die Lokal isierung essentieller cyclo aliphatischer Epoxid materialien bei der Entwicklung von Fotolack ein und wird weiterhin zum Aufstieg der chinesischen IC-Industrie beitragen.

Über Tetra

Tetra hat sich seit seiner Gründung in High-End-Epoxid materialien positioniert, um ein Anbieter perfekter Lösungen mit einer internat ionalen erstklassigen Marke in der neuen Material industrie zu werden. Nach mehr als 10 Jahren Entwicklung hat das Unternehmen die technische Blockade ausländischer Unternehmen auf dem Gebiet erfolgreich gebrochen, realisierte die lokalisierte Substitution verschiedener cyclo aliphatischer Epoxid monomere und bildete eine Reihe technischer Systeme mit unabhängigen Rechten an geistigem Eigentum. Derzeit hat das Unternehmen mehr als sechzig Patente besessen. Diese Produkte erfüllen nicht nur die Anforderungen traditioneller nach gelagerter Industrien im In-und Ausland, sondern sind auch in neuen Bereichen wie UV-härt baren Beschichtungen/Tinten, Verbund werkstoffen, Klebstoffen weit verbreitet. elektronische und elektrische Isolierung, Halbleiter verpackungs materialien, additive 3D-Druck fertigung usw.

Das Unternehmen verfügt nun über ein qualitativ hochwertiges Management team, das sich aus Fachleuten zusammen setzt, die sich mit F & E-und Technologie anwendungen im Bereich neuer Materialien befassen. Wir haben das Epoxidharz Engineering Technology Center und das Application Technology Service Center eingerichtet, die mit einer kompletten Technologie kette ausgestattet sind, einschl ießlich Labor für Labortests, Sicherheits labor, Kilogramm-Erweiterungs test labor, Pilot-Transformation gerät. etc. Geleitet von der Betriebs philosophie der "Internat ionalisierung, Technisierung und Green isierung", Das Unternehmen hat präzises und profession elles Management, Innovation und Unternehmertum als spirituelles Motivations-und Aktions programm für die Unternehmens entwicklung genutzt, um die Kern wettbewerbs fähigkeit zu verbessern, die von Organisation, Technologie, Kosten und Qualität angetrieben wird. dienen dem Kunden, Wettbewerb und sich ändernde Geschäfts ziele und bemühen sich, den maximalen Wert für die Kunden zu schaffen.

Um die soziale Verantwortung der Unternehmen zu verbessern, hat das Unternehmen dem Umweltschutz große Bedeutung beigem essen, die Reinigungs produktion gefördert und die Zertifizierung des Umwelt managements ystems ISO14001 bestanden. Außerdem, das Unternehmen hat sich stets an die Sicherheits produktions politik „ Sicherheit, Prävention zuerst, umfassendes Management, Volle Teilnahme und kontinuierliche Verbesserung “und bestanden OHSASI 18001 und Safety Production Standard ization Zertifizierung.

In den letzten Jahren hat das Unternehmen die Entwicklung neuer Produkte und Technologien weiter gestärkt und sich verpflichtet, einen chinesischen Maßstab für die Anwendung neuer chemischer Materialien zu schaffen und die inländischen Anforderungen zu steuern, um die Modernisierung von voran zutreibenSpezial-EpoxidharzeIndustrie in China.